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气相沉积实验炉应用广泛源于其优异的性能
发布时间:2019-06-24   点击次数:161次
  气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程,在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层,按照成膜机理,气相沉积技术可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积,随着技术的不断进步,气相沉积被广泛应用于刀具(硬涂层)、集成电路、介质隔离等领域。
 
  1、物理气相沉积:物理气相沉积是通过蒸发,电离或溅射等过程,产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面,物理气象沉积方法有真空镀,真空溅射和离子镀三种,目前应用较广的是离子镀。离子镀是借助于惰性气体辉光放电,使镀料(如金属钛)气化蒸发离子化,离子经电场加速,以较高能量轰击工件表面,此时如通入CO2,N2等反应气体,便可在工件表面获得TiC,TiN覆盖层,硬度高达2000HV。、
 
  2、化学气相沉积:将工件置于反应室中,抽真空并加热至900~1100℃。如要涂覆TiC层,则将钛以挥发性氯化物(如TiCl4)与气体碳氢化合物(如CH4)一起通入反应室内,这时就会在工表面发生化学反应生成TiC,并沉积在工件表面形成6~8μm厚的覆盖层。工件经气相沉积镀覆后,再进行淬火,回火处理,表面硬度可达到2000~4000HV。
 
  气相沉积实验炉为开式的结构,其炉体采用炉丝加热的方式,并使用耐高温陶瓷作为炉体材料,保证了其良好的加热稳定性和温度均匀性。该装置中石英管两端配置相应的法兰接头,可进行气体处理以及真空处理,被广泛应用于催化剂样品的处理以及有机物的气相沉积中,例如应用于纳米氮化物、纳米氧化物、碳纳米管、石墨烯等材料的生长研究中。
 
  气相沉积实验炉厂家概述:
 
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