热线:021-51696069

技术支持
Technical Support

销售热线
021-51696069
13524363286
点击这里给我发消息

技术支持
您现在的位置:www.402.com > 技术支持 > 高真空烧结炉的详细操作方法分享
高真空烧结炉的详细操作方法分享
发布时间:2022-01-14   点击次数:85次
  高真空烧结炉是一种主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备。它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程,也可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。
  下面咱们来了解下高真空烧结炉的操作方法:
  1、通电前,检查各开关,升温方式“手动”,功率调节逆时针旋到头。
  2、控制电源开:根据工艺要求顺序来启动机械泵、扩散泵。
  3、炉内真空度测量:根据真空计的操作进行,当达到要求的真空度时,才能加热升温。
  4、抽真空:紧闭所有的真空阀门,启动机械泵,待其运转正常后,打开通向炉体的低真空阀,预先对炉体抽气,此阀打开时应缓慢,以免机械泵排气口处有油喷出。
  5、炉体抽真空同时,打开另低真空阀,对扩散泵抽气,当真空度达到15Pa后,先开启扩散泵上的冷却水,然后对扩散泵加热,经过45分钟左右扩散泵起作用,就可关上通向炉体的真空阀,打开阀门,真空度很快可以达到1.33×10-1Pa以上,即可通电加热。
  6、加热因放气较多,真空度容易下跌,另外工件加热放气也使真空下跌,所以要慢慢升温真空度下跌到1.5帕停止加热,等真空度回升到0.5帕以上再慢慢加热。因扩散泵低于20帕就无法工作,另外扩散泵油在太低真空下易氧化,扩散泵就无法作用。也可在低真空下加热除气,等放气基本结束,再开高真空。另外电炉在不用时抽真空状态下保存,下次抽气快些。欲停止抽真空,应先关闭高真空阀,然后停止加热,1个半小时后,关闭低真空阀,停止机械泵运转,只有在扩散泵完冷却之后,才切断其冷却水供应。
  7、手动升温:在炉温200℃以下先用手动方式升温,否则控温不准。在真空状态下按动加热启动按钮,缓慢调节手动功率调节(顺时针方向),使电流慢慢上升,禁止超过次额定电流1100A,电炉温度随之上升。1000-2000℃,可采用红外自动控制炉温。
  8、降温可按预先设定的程序控制降温,也可直接把加热关闭让其自行降温。但降温过程中不允许停水,否则炉体密封圈会烧坏。
  9、其外表应经常保持整洁,不用时应保持真空,否则下次使用会导致抽真空率降低。使用半年左右应对轴向密封部位加注真空密封脂,轴向密封指观察窗挡板座、气动真空蝶阀等部位,自动进出热电偶系统在使用半年后应旋开热电偶座加注扩散泵油。
  10、观察窗玻璃(别是红外仪用的观察窗)在使用后应卸下清洁。

Copyright @ 奥门永利402官方网站(www.402.com) All rights reserved. 技术支持:兴旺宝明通 GoogleSitemap 沪ICP备16025132号-3

XML 地图 | Sitemap 地图