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CVD管式炉在烘炉操作之后应进行必要的检查工作
发布时间:2018-05-11   点击次数:480次
CVD管式炉在烘炉操作之后应进行必要的检查工作
CVD管式炉主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用,具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。CVD管式炉温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、模糊控制、自整定能力并可编制各种升温程序等功能。
CVD管式炉在使用前(同时在加热中)必须保证保护气氛回路正常。气氛采用氮气或氩气,气路由真空截止阀+流量计+真空泵,气体由炉管一端进气,分二路进气,一路为氮气,一路为氢气。并配一抽真空接口,在炉管的另一端排气。排气量通过闸阀调整。当炉体升温前,先启动真空泵并注意真空压力表,当真空压力表示值接近-0.1MPa时,关闭真空泵电源。打开管路截止阀,调整气源压力在0.1MPa,按工艺要求调节进流量,调节排气口阀门,维持炉管内压力达到500Pa。
CVD管式炉烘炉后的检查工作说明:
1、检查各部砌砖有无裂缝,耐火衬里有无脱落,钢架、吊挂有无弯曲变形,炉管有无变形,基础有无下沉等。
2、如果耐火衬里表面脱落深度超过15mm,或脱落深度达到耐火层厚度的五分之一时,需要进行凿洞修补。
3、如果耐火衬里出现大于3mm的皲裂,如何处理由设计单位研究决定。
4、炉膛在烘炉前放的砖样进行取样分析水份,低于7%为合格,等待正常开工。
CVD管式炉的安装包括三方面的工作,分别是:炉体安装、电气安装以及检查并且紧固,其中:
1、炉体安装:炉体安装在CVD管式炉安装里面是最重要的,只要把这一部分安装好了才能继续下面的安装。把管式炉放在工作台上面,适合操作人员操作的高度,工作台的有效承载要大于200千克。 
2、电气安装:在电气安装里面,电源的配置应该是220V(380V),根据用户的电控柜配置功率应该大于4千瓦。热电偶插入到炉膛大约25毫米深,采取N分度号补偿导线和控温仪表进行联接。需要注意的是,要先安装石英管,之后才能安装热电偶,热电偶不能喝石英管相接触。电炉和控制柜整体接地,接地线接地电阻要小于4欧姆。   
3、检查并且紧固:因为运输的情况,在安装好CVD管式炉之后要仔细检查炉体的各个螺钉的紧固情况,防止脱落而影响管式炉的正常工作。

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