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如何有效减少压力烧结炉的故障率
发布时间:2018-05-11   点击次数:809次
如何有效减少压力烧结炉的故障率
压力烧结炉使用之前,应做好必要的准备工作,包括了:
1、检查压力烧结炉炉体的杠杆手把启动是否灵活。
2、检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。
3、检查石墨坩埚,装炉配件是否齐全。
4、检查压力烧结炉体内情况,要求真空炉体内一级卫生,感应圈绝缘良好,密封真空胶带具有弹性,尺寸合格。
压力烧结炉正常工作时突然出现现停电故障,应立即打开电源控制柜确认是外部停电故障,还是设备内部电源故障,如果是外部停电故障应立即关闭总电源开关,并取下进口和出口传送带上的硅片。真空压力烧结炉正常工作时突然无冷却水,设备会自动停止运转,同时警报被触发。此时应取下进口和出口传送带上的硅片,在设备PC上下载冷却工艺。清洁完传送带后设备无法开启可以真空压力烧结炉进口和出口处的紧急停止开关被按下,拔出紧急停止开关即可解除机械锁定。
为了有效减少压力烧结炉的故障率,使用者应做好必要的维护工作,包括了:
1、如果压力烧结炉首次使用或者是在长期停炉之后再次使用的话,那么就一定要先对其进行烘炉,先在120摄氏度的温度下烘烤一小时,然后在300摄氏度的温度下烘烤两小时,烘炉过后才能使用炉子,这主要是为了避免炉膛在高温下开裂。使用炉子的时候,炉温不能超过最高温度,否则容易损坏加热元件以及炉衬。
2、要定期的检查搅拌风机轴承冷却套及其水冷管路系统是不是正常,调整各部分的间隙。传动皮带因为调节螺栓调整张力,会因为高温蠕变而伸长,所以需要每月检查一次,如果发现打滑严重,则需要立即更换。设备的表面要经常的擦拭,保持清洁。电气系统的电接头也要保持干净和紧固,在每次开炉之前应该先检查每个接头是不是紧固。在拆装炉体以及系统零件的时候,一定要先用酒精或者是丙酮洗干净,等其干燥之后涂上油脂,然后再装上。
3、如果热压烧结炉的炉膛使用的是石英管的话,那么当温度高于1000摄氏度的时候,在石英管的高温部分可能会出现不透明的情况,这种现象叫做失透,是连熔石英管的一个缺陷,属于正常的现象。
4、在加热的过程中,如果炉内的真空度低于27Pa的时候,要立即停止加热升温。在真空烧结炉维护保养里面,这一点是非常重要的。为了防止水分以及污物进入到炉内,所以的工件以及料筐都要经过清洗干燥之后,才能进入炉内。
5、在使用冷炉的时候,因为炉膛是冷的,所以会需要吸收大量的热,这样的话,在低温段的升温速度就不能快,在每一个温度段的升温速率也不能相差太大,所以,在设置升温速率的时候,要考虑到烧结材料的物理化学性质,避免出现喷料的情况,从而污染炉管。
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