气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层，按照成膜机理，气相沉积技术可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积，随着技术的不断进步，气相沉积被广泛应用于刀具（硬涂层）、集成电路、介质隔离等领域。

 

　　1、物理气相沉积：物理气相沉积是通过蒸发，电离或溅射等过程，产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面，物理气象沉积方法有真空镀，真空溅射和离子镀三种，目前应用较广的是离子镀。离子镀是借助于惰性气体辉光放电，使镀料（如金属钛）气化蒸发离子化，离子经电场加速，以较高能量轰击工件表面，此时如通入CO2，N2等反应气体，便可在工件表面获得TiC,TiN覆盖层，硬度高达2000HV。、

 

　　2、化学气相沉积：将工件置于反应室中，抽真空并加热至900~1100℃。如要涂覆TiC层，则将钛以挥发性氯化物（如TiCl4）与气体碳氢化合物（如CH4）一起通入反应室内，这时就会在工表面发生化学反应生成TiC，并沉积在工件表面形成6~8μm厚的覆盖层。工件经气相沉积镀覆后，再进行淬火，回火处理，表面硬度可达到2000~4000HV。

 

　　气相沉积实验炉为开式的结构，其炉体采用炉丝加热的方式，并使用耐高温陶瓷作为炉体材料，保证了其良好的加热稳定性和温度均匀性。该装置中石英管两端配置相应的法兰接头，可进行气体处理以及真空处理，被广泛应用于催化剂样品的处理以及有机物的气相沉积中，例如应用于纳米氮化物、纳米氧化物、碳纳米管、石墨烯等材料的生长研究中。

 

　　气相沉积实验炉厂家概述：

 

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