对于金属、陶瓷以及一些难熔金属中间化合物粉末的烧结，一般采用两种烧结方式即无压烧结和有压烧结。而目前常用的有压烧结主要常采用以下三种方式，热等静压烧结、热压烧结及气压烧结。热压烧结是利用热能与机械能将制品致密化的过程，此过程的特色是烧结温度可依外加压力的大小而比常压烧结低约200~400℃，同时外加的能量使得制品致密化的速度加快，因此完全致密且晶粒细致的制品可在降低的温度及较短的时间内完成。

　　真空脱脂压力烧结炉主要用于半导体元器材及电力整流器材的烧结工艺，可进行真空烧结，气体维护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺配备，它规划构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程，也可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。

　　下面要与大家分享的是真空脱脂压力烧结炉的日常检修方法：

　　1、对有气镇功能的其空泵，应在每日开炉前查看并依据需耍敞开30min，以扫除泵油中的水分。

　　2、常常查看冷却水、压缩空气、液压体系的压力以及冷却水的活动状况。

　　3、对炉门的橡胶密封件和法兰面应在关护门之前进行查看，不能有砂粒和杂物，用千净绷布擦拭橡胶密封圈及法兰面，再均匀涂上真空脂后方可封闭炉门。

　　4、工件入炉处理前有必要清洗。油淬处理后应将浸过油的料框、运载部件上的油全部清洗干净。

　　5、风冷电机一般为常用电机，在真空下不能发动一定要充气以后才干发动并应有电气联锁维护装置维护。

　　6、应在133Pa以上的真空度才干发动，也应有电气联锁维护装置维护。